・パワー半導体やWLP工程の高精度化・環境対応に寄与 ウシオ電機は、ウェハ向け一括投影露光装置「UX-4」シリーズの新製品として、LED光源を搭載した「UX-44101SCB」および「UX-45114SCB」を開発し、2026年7月より受注を開始すると発表した。同装置は、パワー ...

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